우진시스템

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제품소개

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  • E-mail

    wj7321@naver.com

SPUTTERING SYSTEM (batch type)

  • 특징

    장비 유지 보수 용이
    arc와 magnetron sputter 조합으로 유연한 생산
    대차 방식으로 loading / unloading 용이
    전자동 운전 및 원격제어

SPECIFICATION

사양/MODEL WS500 WS800 WS1000 WS1500
챔버크기 500X500X500H 800X800X800H 1000X1000X1000H 1500X1500X1650H
지그 2 foldor 3 fold rotation 2 foldor 3 fold rotation 2 foldor 3 fold rotation 2 foldor 3 fold rotation
가스 Ar, N2, O2, C2H2, etc Ar, N2, O2, C2H2, etc Ar, N2, O2, C2H2, etc Ar, N2, O2, C2H2, etc
캐소드 2" circular 4" circular 4" circular 4" circular
4" circular rectangular rectangular rectangular
rectangular
히터 max 500℃ max 500℃ max 500℃ max 500℃
장치조작 전자동/반자동 전자동/반자동 전자동/반자동 전자동/반자동

응용 분야